檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="自組裝單分子膜"
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本研究為在低溫製程下試圖將非晶矽轉換成多晶矽,多晶矽薄膜的形成方式眾多,直接沉積型的有化學氣相沉積法,或是再結晶型的包含固相結晶法、準分子雷射在結晶法、鋁誘發法等等,但大多都需要搭配高溫的製程。為了…